新型分光系統和固體檢測器的出現改變了這一局面。
① 二維光譜的產生。當僅僅使用光柵進行分光時，產生的是一維光譜，在焦平面上形成線狀光譜；中階梯光柵與棱鏡組合的色散系統，可產生二維光譜，即棱鏡產生的一維線狀
光譜又被中階梯光柵分光一次，在焦平面上形成二維的點狀光譜。
② 固體檢測器。目前已被采用的固體檢測器主要有：
CCD（Charge-Coupled Detector），電荷耦合檢測器。 二維檢測器，每個CCD檢測器包含2500個像素，將22個CCD檢測器環形排列于羅蘭園上，可同時分析120-800nm波長范圍的譜線。應用于直讀光譜儀，ICP等離子光譜儀等
CID（Charge-Injection Detector），電荷注入式檢測器，二維陣列，28×28mm的芯片共有512×512（262,144）個檢測單元，覆蓋167-1050nm波長范圍；
SCD（Subsection Charge-Coupled Detector）分段式電荷耦合檢測器，面陣檢測器，面積：13×19mm，有6000個感光點，有5000條譜線可供選擇；
CCD、CID等固體檢測器，作為光電元件具有暗電流小、靈敏度高、信噪比較高的特點，具有很高的量子效率，接近理想器件的理論極限值。而且是超小型的、大規模集成的元
件，可以制成線陣式和面陣式的檢測器，能同時記錄成千上萬條譜線，并大大縮短了分光系統的焦距，使直讀光譜儀的多元素同時測定功能大為提高，而儀器體積又可大為縮小，焦距可縮短到0.4m以下，正在成為PMT器件的換代產品。
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